一方向の長さが他の二方向の長さよりも小さい場合、この構造は薄膜と呼ばれます。現在、マイクロエレクトロニクスフィルム、光学フィルム、酸化防止フィルム、巨大磁気抵抗効果フィルム、高温超伝導フィルムなどが工業生産や人間の生活に継続的に応用されており、産業で生産されるフィルムの厚さは非常に重要なパラメータであり、フィルム材料が正常に機能できるかどうかに直接関係しています。
通常、フィルムの厚さとは、基板の表面とフィルムの表面との間の距離を指す。実際、フィルムの表面は凹凸があり不連続であり、ピンホール、マイクロクラック、繊維フィラメント、不純物、格子欠陥、吸着分子などが存在します。たとえば、大規模集積回路の製造プロセスにおけるさまざまな薄膜は、回路集積度の継続的な向上と薄膜の厚さのわずかな変化により、集積回路の性能に直接影響を及ぼします。また、薄膜材料の機械的特性、光透過特性、磁気特性、熱伝導率、表面構造等は厚さと密接な関係がある。したがって、生産プロセスにおける膜厚の正確なオンライン測定は、製品の品質を確保し、生産効率を向上させるための重要な手段です。
膜厚を正確に測定するには、どのような膜厚センサーを使用するかによって異なります。現在、オンライン膜厚検出技術には主にいくつかの方法があります。
1. ベータ プローブは、薄膜検出に使用された最も初期のセンサーです。信号源としてベータ線源を使用しており、技術は成熟しています。ただし、放射性物質の使用には許可が必要で、輸出入手続きが比較的煩雑です。耐用年数には半減期があり、放射線源の減衰に伴って検出精度が低下します。-
2. 赤外線プローブは、特定の赤外線帯域が特定のプラスチック フィルムに強く吸収されるという原理を利用して、フィルムの厚さを測定します。このセンサーは検出が安定しており環境の変化に影響されませんが、添加物や色の変化に敏感であり、同一生産ラインで複数の製品を生産するのには適していません。
3. X- 線プローブは、X- 線管を使用して信号源として X- 線を生成し、プラスチック フィルムの厚さを検出します。多くの利点があります。放射性物質が飛散することです。低エネルギーにはライセンスは必要ありません。広い測定範囲。高い測定精度。添加剤やカラーマスターバッチの影響を受けずにあらゆるプラスチックを測定できます。
現在、膜厚測定装置は高精度化、自動化が進み、非常に高いレベルに達しています。測定精度は一般膜層で測定膜厚の±2%～±5%、薄膜で±2nmであり、微小領域測定機能、高速測定速度、高度な自動化を備えています。特に技術の進歩と精密機器の応用により、上記の検出技術に加え、超音波センサーによる膜厚測定も可能になりました。 Gongcai が推奨する MaxBotix 超音波センサー-MB7480 は、空中で高精度かつ高解像度の超音波距離測定を提供できる高性能の超音波精密距離計です。
